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发布时间:2022-01-10 03:44:03
不锈钢网片蚀刻生产过程中应该注意些什么?
(1)学会出现紧急情况的应急处理如生产中突然停电,应马上打开药缸取出其中的板,避免过度蚀刻如传送带堵板就马上关闭喷液,打开药缸取出板。
(2)人的环节非常重要,蚀刻工序的环境条件相对来讲比较恶劣,尤其氨气很刺激味,而要调理好蚀刻工艺,义非得与蚀刻机“打成一片”才行,蚀刻参数不易保持稳定。尤其当板进入到蚀刻缸后,说不定出来就是个废品又找不到原因。
(3)蚀刻的安全应引起重视,应戴防毒面具或口罩,防止意外事故发生,尤其是氨水的气味,大量吸入对******。
(4)保存足够量的母液,存有足够换一缸母液,母液的提取也很重要,应在各含量比例理想状态时提取,一旦失常难以调理时备用母液将起到关键作用。从这点来讲,蚀刻操作不宜经常换人。
(5)蚀刻过程预防氨水的过量挥发。蚀刻过程中随着铜的溶解,需不断补充氨水和氯化铵.而氮的挥发性是很大的,通常在作板时也不应将抽气开得太大,以免挥发过快.耗量增加而在不作板时一定要记得将抽气等阀门关闭,以免氨气白白挥发导致浪费掉。
金属蚀刻温度对蚀刻速度的影响:NaOH浓度对蚀刻速度影响当蚀刻液中NaOH浓度一定时,提高蚀刻温度,蚀刻速度加快,通过实验发现蚀刻温度每升高12摄氏度,蚀刻速度增加0.7-1倍。但温度如无限制升高(温度为溶液沸点),虽然能加快金属蚀刻的速度,但是温度太高,蚀刻过程难于控制,加上过高的温度也容易***防蚀层,并使蚀刻后铝合金表面粗糙度升高,蚀刻温度一般以80-100摄氏度为宜。系统每天都开,但板子不是连续运行的,所以水会因挥发造成损失,但这种损失远少于从NHOH添加液中获得的量。
兴之扬蚀刻电视304不锈钢网小编来给大家讲解干法蚀刻电浆形成之原理:
电浆的产生可藉由直流(DC)偏压或交流射频(RF)偏压下的电场形成,如图5-3所示,而在电浆中的电子来源通常有二:一为分子或原子解离后所产生的电子,另一则为离子撞击电极所产生的二次电子(SecondaryElectron),在直流(DC)电场下产生的电浆其电子源主要以二次电子为主,而交流射频(RF)电场下产生的电浆其电子源则以分子或原子解离后所产生的电子为主。其次耐蚀性也是在某一回火温度范围内变得很不好,由于回火脆性和耐蚀性变坏的温度范围大致上是相同的,因而必需防止在此温度范围内回火。
在电浆干法蚀刻中以直流方式产生辉光放电的缺点包含了:1)需要较高的功率消耗,也就是说产生的离子密度低;2)须要以离子撞击电极以产生二次电子,如此将会造成电极材料的损耗;3)所需之电极材料必须为导体。如此一来将不适用于晶圆制程中。
在射频放电(RFDischarge)状况下,由于高频操作,使得大部份的电子在半个周期内没有足够的时间移动至正电极,因此这些电子将会在电极间作振荡,并与气体分子产生碰撞。316L可以经受住海洋环境下的侵蚀,但是长期浸在海水中会泛起点蚀和缝隙侵蚀。而射频放电所需的振荡频率下限将视电极间的间距、压力、射频电场振幅的大小及气体分子的解离位能等因素而定,而通常振荡频率下限为50kHz。一般的射频系统所采用的操作频率大都为13.56MHz。
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